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安川SEMISTAR-VD95D雙腕玻璃基板搬運機器人

時間:2016-09-07 16:45:20來源:網絡轉載

導語:?適用于真空環(huán)境內最大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人!

適用于真空環(huán)境內最大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人!

特點:大動作范圍:最大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。手臂采用連桿機構實現高鋼性。采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。手臂可內置基板傳感器用配線。

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